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驴吹成马 国产光刻机被誉打破"晶片荒"

www.creaders.net | 2018-12-04 17:44:33  科技日报 | 0条评论 | 查看/发表评论

  自中美贸易战爆发以来,晶片生产技术一直为各界焦点,例如内地电讯龙头中兴因一度遭美国"封杀",几乎陷于没顶之灾。其后中国领导人不断呼吁科研人才开发"核心技术",反复强调"大国重器"不能假手于人。

驴吹成马 国产光刻机被誉打破"晶片荒"

  11月29日,中科院研制的"超分辨光刻装备"通过验收,光刻分辨力达到22纳米。部份内媒以〈国产光刻机伟大突破,国产晶片白菜化在即〉和〈厉害了我的国,新式光刻机将打破"晶片荒"〉之类为题,庆祝中国不再受制于人。然而《科技日报》12月2日刊文指出,这类报道只是一厢情愿。

  报道指出,就晶片制作而言,光刻机作用在于"印刷"电路,就像照相,图像投在感光底片上,蚀掉一部份。自光刻技术面世半个多世纪以来,为了节省能源和所需矽料,晶片愈做愈小,致使投影刻划难度愈来愈高,因而催生顶尖光刻机利用波长13.5纳米的极紫外光源,以刻划10纳米以下的线条。 旨在用便宜光源实现较高分辨率

  要制造稳定而大功率的"极紫外光源",报道指每个光源需耗资3000万元人民币。至于顶尖"极紫外光刻机",更有一部卖一亿美金之誉,相关技术目前由荷兰ASML公司独家垄断。

  有见及此,中科院研制光刻机旨在利用"表面等离子体"光刻法,在通行纳米光学技术外另辟蹊径,"用便宜光源实现较高的分辨率"。报道引述科学家杨勇解说箇中原理:"拿一块金属片和非金属片亲密接触,界面上有一些乱蹦的电子;光投影在金属上,这些电子就有序地震荡,产生波长几十纳米的电磁波,可用来光刻。"

  电磁波很弱、加工精度不足

  不过这种这种电磁波很弱,需要"光刻胶"材料得凑近了,才能刻出来,且加工精度及不上市面"极紫外光刻机",无法刻出几十纳米级的晶片。光电所专家便称,用于晶片需要攻克一系列技术难题,距离还很遥远。

  报道更批评:"有些传播者为吸引眼球、赚钱,最爱制造『自嗨文』和『吓尿体』。听到国产科技成就先往大里吹,驴吹成马,马吹成骆驼,好卖个骆驼价。"

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