中国要多久才能挣脱被掐住的“光刻机脖子”

乌凌翔评论分析文章：上月底，1979年从金门马山游泳到对岸发展的中国经济“国师”林毅夫在一个公开场合表示：荷兰阿斯麦尔（ASML）现在若不卖光刻机（曝光机）给中国，3年之后，中国就可以掌握光刻机技术了，ASML就惨了，因为中国制造的产品向来有很强的竞争力，又好又便宜。林毅夫说他是转述ASML执行长韦尼克（Wennink）的话。

　　光刻机（曝光机）是芯片（Chip）製程中最重要的制造设备，荷商艾司摩尔（ASML）因而关键。

　　韦尼克真的这麽说了吗？

　　台湾称ASML为艾司摩尔，它不仅是世界第一，同业的日本尼康 （Nikon）、佳能（Canon）在“深紫外光刻机”（DUV, Deep Ultra-violate）总市佔率远远落后它，甚至到了14奈米以下製程，进入最先进的“极紫外光刻机”（EUV, Extreme Ultra-violate）市场，称ASML为世界唯一也不为过，因为别人都做不出来EUV。

　　光刻机是芯片（Chip）製程中最重要的制造设备，ASML因而关键。

　　荷兰政府禁止ASML卖EUV给中国，背后当然是美国，因为美国发起针对中国科技战最强大的武器，非芯片莫属，策略也很简单，就是让你：“自己造不出，向外买不到”。

　　简单，却很有效，被称为“掐住中国的脖子”了。若不能解决这一“掐”，中国的崛起势头，不但已经减速，未来甚至可能总体国力与美国的差距被拉大，一直拉大到再也威胁不了美国的老大地位，像前苏联变成现在的俄罗斯。这应该也就是美国的战略目标。

　　向外买不到？手段是把禁止买到的中国公司，都列入黑名单，“敕令”主要芯片生产国的公司，有钱也不准赚，等于斩断中国公司的货源，这招够狠。譬如台积电不准卖给海思－华为旗下的芯片设计公司，于是华为的手机无“芯”可用－中国称芯片为芯片－也就没货可出，从2020第二季世界销量第一的宝座重重摔下来，一路跌到五名外，连副品牌荣耀都卖掉了。

　　美国的长臂管辖之所以有效，是因为主要的芯片生产国－欧、日、韩、台，甚至包括中国自己－的芯片制造公司，都使用美国厂商所制造的芯片生产设备，“你若敢卖给黑名单上的客户，就断供你的设备”－又是斩断货源这一招。

　　所以，中国向外买不到、自己造不出的关键，其实都在于芯片的制造设备。

　　也因此，中国要挣脱被掐的脖子，设法自己造出芯片－而且质与量都要能满足所需，就必需先造出能制造芯片的设备。

　　芯片制造分为前段的“晶圆制造”与后段的“封装测试”，涉及的设备很多样，中国大陆原先封装测试实力不弱，产能在世界上也有一席之地，主要有江苏长电、华天科技等公司。晶圆制造则较弱，主要就是被强力制裁的中芯国际（SMIC）还有华虹半导体。中芯国际有台湾半导体业界的梁孟松、蒋尚义先后加入，此二人都曾在台积电任职。

　　蒋尚义将要加入中芯国际担任副董的消息去年底传出后，共同执行长梁孟松自导自演了一齣愤而辞职的风波，当时梁孟松公开的辞职信中特别提及“只要光刻机一到...”，按梁孟松的说法，中芯应该是已经订了一座EUV，但一直没到货。梁孟松信中明示，没有EUV，製程就无法向5奈米攻关，虽然就这件事本身，有不同看法，但也算间接证明了光刻机的关键性。某个角度来说，光刻机就是中国在半导体领域被掐住的脖子。

　　光刻机很重要，所以ASML很重要，重要到林毅夫也以它为题发表言论。

　　林毅夫说3年之后中国就可以掌握光刻机技术，恐怕有些夸大

　　中芯高层当然也知道，延揽蒋尚义的目的，就是捨弃攻关高端製程，改走另一条技术路线，包括先进封装与小芯片技术（Chiplet），来提昇总体功效。不过，这有点像制造一辆高级汽车，因为实在买不到最先进的引擎，就想法在传动系统、板金材料、甚至影音内装等方面下手，想办法在整体效能上，接近竞争对手的车型。

　　换言之，蒋尚义能做的也有限度，中国要发展自给自足、以硅材料为基础、且与世界先进技术平起平坐的芯片制造产业，仍然绕不开自製光刻机这个坎。

　　要多久才能造出来？

　　ASML的执行长韦尼克（Wennink）四月份接连接受路透社、彭博社、Politico等媒体表达他对于美国禁止他们卖产品给中国的不满，他忧虑：“如果对中国实施出口管制，就会逼他们落实『科技主权』…被逼急后不出15年光景，他们就能什麽都自己做，就不会再依赖欧洲供应商市场”。

　　中国15年内可以研发出光刻机？是指较成熟的DUV或最先进的 EUV？或二者同时？韦尼克没明说。根据 SIA与BCG的研究报告第30页，EUV有100,000个零件，来自美国、英国、西欧、日本等主要几个区域或国家的 5,000家供应商。换言之，荷兰的AMSL是总其成的最终系统商，这是一项经济全球化、各国相互依赖的典范。就这项产品而言，美国确实已经成功揪集了一个“反中联盟”。

　　反之，就光刻机而言，中国要以一国之力，不只要对抗ASML一家，而是要一一发展出足以取代其背后那5,000家厂商各自拥有的独门绝活－先不谈是否能合法绕开技术专利。

　　面对此一处境，中国人可能会又有些悲情愁绪－怎麽“八国联军”又来了？这回“船坚炮利”在半导体产业。

　　如此看来，不论DUV或EUV，中国要在15年内独立发展出“国产”光刻机，真不太容易，因为人家也不是站在那儿等你来追。林毅夫说3年，有些夸张。