万维读者网 > 中国瞭望 > 正文  

万众瞩目!上海微电子交付大陆首台封装光刻机

www.creaders.net | 2022-02-07 09:42:49  中时新闻网 | 0条评论 | 查看/发表评论

万众瞩目!上海微电子交付大陆首台封装光刻机

上海微电子是大陆半导体设备技术居于领先地位的厂商,目前具备生产90/65nm制造工艺光刻机的能力。图为上海微电子光刻机示意图。(图/上海微电子)

被视为中国大陆半导体工业重要进程、解决西方国家“卡脖子”问题的半导体设备光刻机,终于在多年的努力下端出具有指标性意义的成果。据大陆《财联社》报导,大陆上海微电子公司于2月7日举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式,这是中国大陆首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。

陆媒《品玩》(PingWest)网站报导,上海微电子曾于2021年9月18日举行的新产品发佈会上,宣布推出新一代大视场高解析度先进封装光刻机。上海微电子表示,当时已与多家客户达成新一代先进封装光刻机销售协定,首台将于年内交付。

报导说,当时推出的新品光刻机主要应用于高密度异构集成领域,具有高解析度、高套刻精度和超大曝光视场等特点,可帮助晶圆级先进封装企业实现多芯片高密度互连封装技术的应用,满足异构集成超大芯片封装尺寸的应用需求,同时将助力封装测试厂商提升工艺水准、开拓新的工艺,在封装测试领域共同为中国积体电路产业的发展做出更多的贡献。

不过,这种封装光刻机是用于晶圆封装,并不用于芯片制造,但也只有晶圆级的先进封装才会用到光刻机。相对于IC制造用光刻机,封装所用光刻机的研发难度要小很多,市场空间也更小,但后发的光刻机厂商可以先在封装领域进行积累。

目前在大陆居于技术领先地位的光刻机研製厂家是上海微电子,可以稳定生产90/65nm制造工艺的光刻机。光刻机是半导体制造设备价格占比最高的部分约25-30%,其研发难点在于曝光光源、对准系统和透光镜头等技术的整合,以及庞大资金投入。

目前,位于荷兰的阿斯麦(ASML)公司垄断著全球最顶尖的光刻机市场,该公司也因此被美国视为围堵中国大陆芯片产业发展的“政治棋子”。阿斯麦CEO彼得.温尼克(Peter Wennink)曾透露,阿斯麦尚未获得向中国大陆出口最先进光刻机的许可,但一些生产成熟制程的光刻机出口并不受限制。

从阿斯麦公司出货地来看,台湾仍然是阿斯麦最大的客户,去年4季度有51%的光刻系统往台湾发货;韩国则是该公司第2大市场,同期有27%的光刻系统发往当地;中国大陆是阿斯麦第3大市场。

   0


24小时新闻排行榜 更多>>
1 内幕:刘亚洲是这样激怒习近平的
2 习当外商面反驳李强 蔡奇新角色引关注
3 中南海附近挤满救护车 死伤不明
4 惊传北京招商银行倡议书:“北京危急 生死
5 俄罗斯给恐袭定调了!幕后黑手就是…

48小时新闻排行榜 更多>>
1 要出大事?军委副主席捅了马蜂窝
2 这一次,巴菲特又料事如神
3 中国“断崖式降薪”突然冲上热搜
4 内幕:刘亚洲是这样激怒习近平的
5 中共东部战区一张训练照 泄露惊人信息
6 人民币剧烈波动的背后:北京意外变脸
7 大快人心!让无数人倾家荡产的机构终于迎来
8 习当外商面反驳李强 蔡奇新角色引关注
9 消息传来 3家中国地产商“爆雷”
10 中南海附近挤满救护车 死伤不明
热门专题
1
美国大选
6
中共两会
11
秦刚失踪
2
中美冷战
7
台湾大选
12
火箭军悬案
3
以哈战争
8
李克强猝逝
13
台海风云
4
乌克兰战争
9
中国爆雷
14
战狼外交
5
万维专栏
10
李尚福出事
15
普里戈津
一周博客排行 更多>>
1 给世界“指明”方向后,中国迷 中国社会经
2 1364 (图文)红二代披露助毛泽 范学德2
3 她的天才因美貌而被忽视 湮灭之城
4 辛峰:社区那条红围巾 万维网友来
5 读后感:中国没有中世纪 施化
6 春蚕到死丝方尽 - 深切纪念刘 玉质
7 风云无定日月有常:中美关系实 阿妞不牛
8 何与怀:沉沦神州的血祭者 万维网友来
9 宋国辉:封杀TikTok最严厉的是 万维网友来
10 莫言现象:中国知识分子的宿命 万维网友来
一周博文回复排行榜 更多>>
1 读后感:中国没有中世纪 施化
2 分享“左媒”知乎的一个帖子。 高鹏
3 消遣一下中国适不适合多党制的 特有理
4 一图胜过千言万语:川普今天大 爪四哥
5 中国还有希望吗? 山蛟龙
6 俄国GDP世界前十:西方专家的 随意生活
7 第三次世界大战的准备清单 随意生活
8 为什么中国没有产生科学 体育老师
9 所谓“毛让站起来,邓使富起来 东田枫叶
10 普丁丁似乎有点急了 山蛟龙
关于本站 | 广告服务 | 联系我们 | 招聘信息 | 网站导航 | 隐私保护
Copyright (C) 1998-2024. CyberMedia Network/Creaders.NET. All Rights Reserved.