华为布局光刻机技术 恐是南柯一梦

中国要自己造出最尖端的EUV光刻机，等于是中国单挑全球十几个技术先进的国家。这样沉重的任务都寄托在华为身上有助于鼓舞士气，但离现实还是有很大的距离。（图／路透）

日前华为旗下哈勃投资公司揭露了投资科益虹源光电技术公司的信息，让外界认定华为已着手布局生产光刻机领域相关技术，科技产业界也议论纷纷。

科益虹源是中科院微电子所旗下的公司，制造高能雷射仪器，而高能雷射技术是光刻机主要技术之一。科益虹源也是大陆国产光刻机厂商上海微电子的光源系统供应商，因此媒体盛传这是华为着手布局光刻机的重要步骤。

有关华为布局光刻机与高端半导体产业的传闻，从去年被美国进行第2轮制裁卡住华为芯片货源后就流传开来，大约9月各种华为大量招聘光刻机人才的资讯在业界引起震动。华为招聘人才又投资相关产业，涉入芯片产业的动作愈来愈多，但这是配合政策进行表态？还是真的要大规模投入战场？恐怕还有不少疑问。

华为布局光刻机与高端半导体产业的传闻已久，去年9月传出华为大量招聘光刻机人才的信息，在业界引起很大的震动。图为光刻机作业示意图。（图／网络）

华为投资制造高能雷射仪器的科益虹源，该公司是大陆国产光刻机厂商上海微电子的光源系统供应商，因此媒体盛传这是华为着手布局光刻机的重要步骤。（图／网络）

华为涉入光刻机领域主要是配合政府政策展示技术自主的决心，虽然此举在大陆极为振奋人心，但显然有极高难度。图为华为总裁任正非（图／路透）

众所周知，打造光刻机并非易事，其中涉及的关键技术与系统整合极多，每一样都是现今全球的顶尖技术与专利，不是几家厂商或几十家厂商就能搞定。如果打个比喻，光刻机的元件涉及数十个不同类别、来自全球十几个国家的顶尖供应商，如果要建立一支数十家供应商的队伍来追赶对手，经过数年努力可能会有部份厂商的技术能赶上外国供应商，但要全部厂商都赶上，可能性微乎其微。毕竟这些供应商都是在全球相关产业界打滚数十年，每一家都是激烈竞争中脱颖而出的强劲对手，要在短时间内全数赶超，只能说是不可能的任务。

ASML光刻机目前拥有全球85%的市占，最高阶光刻机占有率100%，是全球相关产业供应的尖端技术结晶。（图／ASML)

大陆国产光刻机龙头上海微电子(SMEE)从开发光刻机至今也有20年历史，但是目前量产的90nm光刻机也仅仅是荷兰ASML公司十几年前的水准。即便如此，这并非最先进设备的供应商也绝大多数都来自国外，该公司总经理贺荣明曾表示，“SMEE最好的光刻机（90nm解析度），包含13个分系统、3万个机械零件、200多个感测器，每一个都要稳定。就像欧洲冠军杯决赛，任何一个人稍为失常就要输球。”而ASML的EUV光刻机则拥有超过10万个零件，更为复杂，零件几乎都是订制，几乎都是采用世界上最先进技术与制作工艺。

大陆国产光刻机龙头上海微电子从开发光刻机至今也有20年历史，但是目前量产的90nm光刻机也仅仅是荷兰ASML公司十几年前的水准。（图／上海微电子）

而以目前大陆被卡脖子的EUV光刻机来说，其发展从1997年就已开始，当时有来自全球各国的数百位顶尖学家，整合了几个国家政府与一流企业的资源组成EUV LLC联盟，投入至少2亿美元，用6年时间做出数百篇研究论文，才完成科学理论与技术验证，确认EUV光刻技术的可行性。而这还只是理论与技术论证，进到实务还有全球数万供应商的各自的生产能力与技术要求。华为当然是个技术能力很强的企业，但是若想在10~20年内，以一国之力做到集全球顶尖人才之力且花20年到30年才做出来的EUV光刻机，希望确实十分渺茫。

产业界人士进一步分析华为说，这家优秀的企业有足够的雄心与衝劲，也能有效地运用技术与经营人才，但也非万能。以其着名手机上使用的麒麟芯片与照片技术来看，确实是顶尖的产品，但麒麟芯片的开发是建立在ARM公版架构上，照相技术是建立在Sony开发的感测器上，亦即华为很多技术的发展都是站在即有技术成果上进行。但是，最先进的EUV光刻机与先前的DUV光刻机差了一整代，连理论都不一样，无法依照先前的技术路径来实现。华为过去也没有相关技术基础，都要自己组建技术队伍重头来过，可以想见难度有多高。

ASML一位工程师说，如果欧洲一夜之间蒸发了，美国想要重新造出性能相似的光刻机来，至少还需要5年。这种EUV光刻机不只是中国造不出来，其中很多元件目前就连美国也还造不出来。（图／路透）

有一篇网络有关光刻机的文章广为流传，撰文者自称是在ASML工作的华裔工程师，这篇文章为半导体的晶圆代工业做了个比喻说，如果台积电是拥有10艘10万吨级核动力航母的美国海军，中国大陆的芯片制造商大概就是还没把瓦格良号拖进港的中国海军。至于中国何时会造出10万吨核动力航母，这个当然极有可能，但是什么时候能造出来，就需要各种条件都具备了才行。其中需要产业政策、资金、人才、技术发展时机与适合的国际政经环境，“而有这个钱还要花这么大力气在中国重新建立起一家与台积电一样的公司，还不如用这个钱直接买下台积电比较容易些。”

一名ASML光刻机工程师说，如果要花这么多钱与这么大力气在中国重新建立起一家与台积电一样的公司，还不如用钱直接买下台积电比较容易些。（图／路透）

该文章还说，如果欧洲一夜之间蒸发了，美国想要重新造出性能相似的光刻机来，至少还需要5年。这种光刻机不只是中国造不出来，其中很多元件目前就连美国也还造不出来。所以中国要自己造出最尖端的EUV光刻机，这不是中国单挑美国，而是中国单挑全球十几个技术先进的国家。把这样沉重的任务都寄托在华为身上，虽然有助于鼓舞士气，但离现实还是有很大的距离。