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路透日前披露,中国为突破美国半导体技术封锁,秘密进行“中国曼哈顿”计划,透过逆向工程,成功打造制造先进半导体的极紫外光机(EUV)原型机。 路透进一步披露,负责打造EUV原型机的艾司摩尔(ASML)前工程师皆以变造的身分工作,而未能取得德商蔡司(Carl Zeiss)的光学系统,是该原型机大幅落后艾司摩尔EUV的关键原因。
两名知情者说,一名被招聘从事该计划的前ASML华裔资深工程师,惊讶发现他除了丰厚的签约奖金,还有一张化名身份证。 当他进入深圳戒备森严的实验室开始从事该计划后,认出其他前ASML同事,他们也以假名工作。 另一人独立证实,招聘来的科学家取得假身份证,以向内部其他工作人员隐匿身分。
两名现在在荷兰ASML工作的华裔员工表示,至少从2020年开始,华为招聘人员就开始接触他们。
知情者透露,ASML的老将使深圳的突破成为可能,没有他们对EUV技术的深入了解,逆向工程是不可能成功的。
路透检视中国政府文件显示,相关招募是中国2019年向海外挖角半导体专家的计划一部分,该计划提供300万至500万人民币(台币1343万至2238万元)签约奖金以及购屋补贴。 被招聘者包括ASML前光源技术主管林楠,他在中国科学院上海光学精密机械研究所的团队,于18个月内申请了8项EUV光源相关专利。

知情者说,中国的EUV原型机相较ASML的机器显得粗糙,但足以进行测试运转。 中国的落后主要在于,研究人员无法取得德国蔡司公司的光学系统,蔡司是ASML的关键供应商。
两名知情者透露,中国拆解旧的ASML机器,并透过二手市场向ASML供应商采购,以取得零组件。 中国有时也会利用中间商网络来掩盖最终买家身份。 事实上,原型机也使用了日本尼康与佳能遭出口管制的组件。
他们透露,一个约100名大学毕业生的团队专门对EUV以及深紫外光机(DUV)进行逆向工程,每人的工作区都装有监视器,纪录他们拆解、组装零件的过程,知情者称,这对EUV的打造至关重要,成功组装零件的员工将获得奖金。
4名消息人士表示,虽然EUV计划由中国政府主导,但华为参与供应链的每一环节。 华为CEO任正非会向中国领导高层报告进展。
华为在中国各地办公室、晶圆厂与研究中心派驻员工,以推展该计划。 知情者说,被派往半导体团队的员工常睡在厂区内、工作期间禁止回家,处理更敏感任务的团队还限制手机的使用。
在华为内部,很少员工知道该计划整体内容。 一名消息人士说,团队间彼此隔离,以保护计划的机密性; 他们不知道其他团队在做什么“。
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