“中国刻蚀机之父”弃美籍恢复中国籍 套现近1亿

1月8日，半导体龙头中微公司发布公告称，公司创始人、董事长兼总经理尹志尧计划自公告披露之日起15个交易日后的3个月内，通过集中竞价方式减持公司股份不超过29万股，占公司总股本比例约为0.046%。

公告显示，被誉为“中国刻蚀机之父”的尹志尧减持股份的原因是：“因本人已从外籍恢复为中国籍，为依法办理相关税务的需要。”

公开资料显示，尹志尧，生于1944年，中国国籍，拥有中国科学技术大学学士学位及加州大学洛杉矶分校博士学位。

尹志尧的职业生涯始于1984年，先后在硅谷多家顶尖半导体企业积累了丰富经验。1984年至1986年，他在英特尔中心技术开发部担任工艺工程师；1986年至1991年，在泛林半导体历任资深工程师及研发部资深经理；1991年至2004年，供职于应用材料公司，期间先后担任等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁兼事业群总经理，以及亚洲总部首席技术官。2004年，尹志尧回国创立中微公司，并一直担任董事长、总经理及核心技术负责人至今。

每日经济新闻此前报道，中微公司在2022年年报中仍明确标注尹志尧为美国公民；2023年年报未披露其国籍信息；直至2024年年报，才正式确认其已恢复中国国籍。

另据上海证券报报道，近十年间，尹志尧带领团队持续突破技术壁垒，半导体设备领域的全国首台套捷报频传：2015年，率先提出“皮米级”加工精度概念，开发出世界先进水平的CCP和ICP等离子体刻蚀设备；2018年，自主知识产权刻蚀机进入客户5纳米产线；2010年—2025年，推动开发了MOCVD\LPCVD\ALD\EPI\PEVCD等一系列国际领先的薄膜设备；2025年，ICP双反应台刻蚀机精度达0.1nm（纳米），技术达到全球先进水平。

中微公司最新披露的三季报显示，2025年前三季度，公司保持强劲发展势头，实现营业收入80.63亿元，同比增长46.40%；实现归属于上市公司股东净利润￥12.11亿元，同比增长32.66%。

中微公司在三季报中表示，根据规划，未来五到十年，其对集成电路关键设备领域的覆盖度将提升至60%，将携手行业上下游的合作伙伴，实现高速、稳定、健康和安全的高质量发展，力争尽早在规模上和竞争力上成为国际一流的半导体设备公司。