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荷兰人在塑造现代世界的技术转移中,一直发挥着超出本国体量的影响。17世纪,荷兰的金融和农业创新传到英国,为工业革命和大英帝国扩张奠定了基础。俄罗斯沙皇彼得大帝曾学习荷兰造船技术,用以建立海军,使俄罗斯在18世纪成为海上强国。
20世纪70年代,巴基斯坦科学家阿卜杜勒·卡迪尔·汗从荷兰实验室窃取蓝图,启动了巴基斯坦的核武器计划,并推动朝鲜、伊朗和利比亚开展类似项目。
荷兰技术是否刚刚又一次改变了全球力量平衡?川普政府正是这样指称的。
然而最近几周,美国商务部长霍华德·卢特尼克向 ASML 表达担忧,称其中一台设备可能已经流入中国,使这家公司陷入危机。
ASML 表示,这是不可能的。
这家欧洲市值最高的公司已经告诉美国官员,公司清楚掌握已生产的全部340台 EUV 光刻机的确切位置,其中包括26台已经退役的设备。
ASML 表示,没有一台在中国。更重要的是,只有 ASML 能运输这种高度敏感的设备,公司还会在线监控这些设备;公司发运的零部件也由 ASML 工程师在客户晶圆厂处理。
ASML 表示:“ASML 从未向中国发运过 EUV 光刻机,也从未向中国发运过任何专门为 EUV 光刻机设计的零部件、模块或设备。”
尽管多次提出要求,ASML 迄今仍未获得任何证据,能够支持卢特尼克的指控。
荷兰政府虽然认真看待美国的说法,但也在反驳。

6月底访问华盛顿时,荷兰贸易部长谢尔德·谢尔德斯马试图说服卢特尼克、其他官员和美国国会议员相信,荷兰政府严格执行出口管制,包括针对 EUV 技术的管制。
谢尔德斯马7月2日接受《经济学人》采访时,拒绝透露围绕卢特尼克说法的任何谈话细节。但他说,荷兰政府目前没有调查美国的指控。他说:“如果有事情需要调查,甚至可能需要起诉,那么我们显然会这样做。”
这场争执乍看之下,取决于卢特尼克的指控是否有任何根据。尽管目前没有任何支持这一说法的信息被公开,但一些听取过相关情况介绍的人形容,这一说法“未经证实”,但“并非毫无根据”。
许多行业专家认为,ASML 整台 EUV 光刻机被运往中国的可能性极低。但一些人认为,相关零部件可能已经流入中国,也许是通过 ASML 自己的供应商或其他第三方。
另一些人认为,问题更可能出在 ASML 向中国出口较老一代的深紫外光刻机,也就是 DUV 光刻机,以及相关零部件和服务上,而这些大多不受出口管制。
2025年,ASML 与 DUV 相关的对华出口约占公司收入的三分之一。
然而,这场争议背后,是围绕中国技术进步以及西方政府应如何回应的更深分歧。争议也凸显出川普政府最近与许多美国盟友之间的摩擦,尤其是在欧洲。
一些美国官员认为欧洲对中国态度软弱。但许多欧洲政府担心,川普政府一边试图与中国达成自己的优先交易,一边正在损害欧洲的经济和安全利益。
一些欧洲官员和企业高管还担心,川普政府正试图强压 ASML 和相关公司,把更多业务转向美国,以帮助美国发展芯片产业。
一个关键问题是,中国距离造出自己的 EUV 光刻机还有多远。
路透社去年12月报道称,中国一个由 ASML 前工程师组成的团队已在2025年初完成 EUV 光刻机原型机,并在深圳一间高度保密实验室进行测试。
ASML 表示,公司无法控制前员工在哪里工作,但他们受保密协议约束。在一些涉及商业秘密被窃的案件中,ASML 已成功采取法律行动。
路透社报道称,这台原型机当时尚未制造出可用芯片,但中国政府设定的目标是到2028年用其生产功能正常的芯片。多数行业专家认为这一目标不现实,并认为中国可能还需要十年时间,才能拥有完全可用的 EUV 光刻机。
即便如此,他们也承认,中国在 EUV 项目以及一些替代技术上的进展快于预期。
美国另一项重大担忧,是中国对 DUV 技术的创新使用。中芯国际和华为等中国半导体公司率先发展出一种名为“多重图形化”的技术,利用 DUV 技术制造小于7纳米的逻辑芯片,接近行业最前沿。
此前,这类芯片只能由 EUV 光刻机制造。虽然这种技术成本高于 EUV 设备,错误率也更高,但一些美国专家认为,这可能让中国生产数以百万计先进芯片,而这些芯片是中国在人工智能主导权竞争中追赶美国所需的关键。
与此同时,欧洲的主流看法是,这类风险必须与保护并扩大 ASML 及其周边生态收入的需要取得平衡,同时还要避免遭到中国报复。
美国回应的支柱之一,是由西方人工智能供应链相关国家组成的新联盟。这个联盟名为“硅和平”,于去年12月启动,目标是在能源、关键矿产、先进制造和人工智能模型等领域,推动伙伴关系和共同监管。
到目前为止,已有24个签署方表示支持,其中包括欧盟和荷兰。荷兰是在6月贸易部长访美期间加入的。这可能会让志同道合国家之间更容易共享前沿技术,并统一与 EUV 系统有关的出口管制。
更具分裂性的美国方案是《MATCH 法案》。
这项立法于4月提出,获得两党支持。法案不仅会阻止向中国销售 DUV 光刻机,还会限制 ASML 为已经在中国的数百台 DUV 光刻机提供维护、备件和软件支持。法案还会给荷兰和其他盟国政府150天时间,使出口管制与美国保持一致,否则就会面临美国依据“外国直接产品规则”采取行动。
这项规则,把美国出口管制适用于制造过程中涉及美国来源技术的外国产品。对 ASML 来说,这意味着公司必须遵守美国规定,否则将面临巨额罚款和其他处罚。
支持者说,考虑到国家安全利害关系,这类措施是必要的。曾任五角大楼联合人工智能中心战略与政策主任、如今经营研究和咨询公司的格雷戈里·艾伦说:“我不支持客客气气地要求企业不要这样做。我支持把这样做定为违法。”
荷兰,以及其他一些盟友,并不同意这种做法。
谢尔德斯马说,从荷兰角度看,《MATCH 法案》“真的很不幸”。他尤其担心美国可能把本国法律适用于荷兰和盟友企业。他说:“我们认为,每个国家最能自行决定本国企业应发展什么技术,以及这可能会或不会带来什么安全风险。”
荷兰政府持怀疑态度的另一个理由,是美国一方面要求限制较老一代 DUV 设备出口,另一方面川普政府却同意英伟达 H200 人工智能芯片出口中国,而这些芯片只能由部分最新 EUV 光刻机制造。
谢尔德斯马预计将访问中国,届时也将面临同样棘手的谈判。中国已经谴责《MATCH 法案》,并且最近出台规定,授权惩罚遵守美国制裁或出口管制的外国公司。
荷兰已经因9月决定接管中资荷兰芯片制造商安世半导体而遭到反制。当时荷兰是为了阻止这家公司把业务转往中国。中国政府随后阻止安世半导体从中国出口,严重扰乱了欧洲和日本汽车制造商的供应链。
围绕卢特尼克说法的风波可能会平息,尤其是在美国无法提供支持证据的情况下。但这只是围绕人工智能关键瓶颈大乱斗的开始。
ASML 及其令人垂涎的技术,恐怕也不会是最后一次被卷入交火之中。
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