19日，山东滨华集团宣布正式开始生产纯度达99.9999%的6N级“半导体用高纯氢氟化物”，目标是28纳米以下的先进工艺，并已建立每年50吨钢筒充填生产线。 同日，公司宣布推出“超高纯度电子级氢氟酸”产品，称已采用14nm工艺技术向客户推出，旨在减少对先进半导体材料进口的依赖。
据新浪财经报道，7月19日，北昆项目——宾华集团电子级高纯氟化氢气生产及新产品发布会——举行。6N级(99.9999%)半导体所用高纯氟化氢的垄断打破了垄断，为先进国产工艺提供了稳定安全的定位保障，为中国半导体产业和供应链筑起了坚实的“安全屏障”!
宾华集团特种化学品部总经理刘腾表示，从5N增加到6N不仅仅是对净化程序的补充，而是一种全新的净化系统。 6N意味着纯度达到99.9999%，每百万分子中不超过一个杂质。
高纯度氟化氢主要用于晶圆蚀刻和清洗。其纯度和稳定性影响芯片的良率和性能，在中国大陆被称为“芯片切割机”。 据报道，6N级产品适用于28纳米以下的先进工艺。过去，中国长期依赖进口，市场价格超过每吨200万元人民币。
宾华集团披露，已采用多重蒸馏耦合系统去除水、二氧化碳和含氧有机物等杂质，并自主开发密封采样和高灵敏度检测方案。已完成50吨年产高纯氢氟化物钢瓶加注管线的建设和测试，并获得燃气瓶充填许可。
同日发布的超高纯电子级氢氟酸由宾华集团与天津大学联合开发，主要用于湿法工艺。 宾华集团强调，该产品的性能指标超越了SEMI-G5级，并已采用14纳米先进工艺向客户推送。
▲ 中国大陆半导体关键国产材料的新突破。 （照片/截图来自新浪财）
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