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为了抗衡西方国家制裁,中国正千方百计自主研发国产芯片,但技术和设备方面都被西方国家卡脖子。现在就连生产半导体的光刻胶材料,都是由国外(主要是日本)大厂所主导。
据大陆集微网报道,由于日本年初地震影响,信越化学KrF光刻胶产线受到很大程度的破坏,至今尚未完全恢复生产,在产线受到影响和晶圆厂扩产等多方因素下,信越化学不得不停止向中国大陆几家晶圆厂供应KrF光刻胶。虽然东京应化(TOK)填补了信越化学海外大部分缺失的KrF光刻胶产能,但目前仍存在不小的缺口。
报道指,全球半导体光刻胶被日本合成橡胶(JSR)、TOK、住友化学、信越化学,以及美国陶氏化学所主导。JSR是现在全球最大的,技术是最领先的光刻胶龙头,Intel、三星和台积电都是JSR核心客户,I-line、KrF、ArF、EUV光刻胶产品全覆盖。TOK专注于做光刻胶及配套试剂,在G线、I线,KrF和ArF都有些市场份额。陶氏的光刻胶事业部已经并入杜邦,客户是Intel、IBM体系,但在大陆市场占有率不是很高。信越化学主要切入点就是从KrF和ArF开始,EUV光刻胶也在开发,在中国大陆有不少FAB厂客户。
高质国产光刻胶的自给率不足5%
今年以来,除了台积电、三星、英特尔、联电等晶圆厂积极扩产外,中芯国际、华虹宏力、广州粤芯等多家本土晶圆厂积极扩产和产能释放,这也就导致国内光刻胶需求量远大于本土产量,且差额逐年扩大,尤其是在高端KrF、ArF等半导体光刻胶。
然而,截至目前,国内能够批量供应KrF、ArF光刻胶的厂商却为数不多。根据SEMI数据,日本几大厂商在g线/i线、KrF、ArF胶市场中市占率分别为61%、80%、93%,而国内g线/i线自给率约为20%,KrF光刻胶的自给率不足5%,12寸硅片的ArF光刻胶目前尚无国内企业可以大规模生产。
集微网引述业内人士表示,未来国内多家晶圆厂或将面临KrF光刻胶大缺货的处境,彤程新材(603650)作为目前国内唯一一家能够供应KrF光刻胶的厂商,大陆多家晶圆厂正在加速验证导入其子公司北京科华的KrF光刻胶。
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