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韩国三星电子子公司和主要半导体芯片相关设备供应商Semes的前员工,因涉嫌技术盗窃提供给中国晶圆设备商而被起诉。
韩国检方表示,Semes的2名前员工参与向一家未公开的中国实体企业出售关键的晶圆清洗机,另外还有2名Semes供应商员工也涉案,他们都被检察官以违反《防止不正当竞争和商业秘密保护法》的罪名起诉。
这些晶圆设备机器被认为是三星尖端半导体技术的关键,在芯片制造过程的最初阶段,使用清洁设备保持晶圆的清洁至关重要,克服技术障碍的方法之一是让设备使用超临界流体状态的二氧化碳来清洁芯片,可以减少对芯片的损坏。
Semes是一家提供从清洁到蚀刻、摄影、测试和封装等芯片制造过程的设备供应商,也是全球第一家开发技术晶圆清洗机的公司,并独家供应给三星电子,专门用于记忆体芯片、处理器芯片等制造。三星在Semes拥有超过90%的股份。
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