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中国半导体设备传出最新突破,据中媒《快科技》报道,中国科学院近日成功研发突破性的深紫外光曝光机 (DUV) ,可发射波长193nm的光子,与目前主流波长一致,理论上能将半导体工艺推进至3奈米,并且在技术上与艾司摩尔(ASML)、佳能(Canon)、尼康(Nikon)等国际大厂不同;不过目前输出功率、频率都与商用水准有落差,仍需继续研发。
综合报道指出,中国科学院团队近日在《国际光电工程学会》期刊公布研究成果,表示该技术通过创新性的固态雷射方案,成功输出193nm波长的相干光,理论上可支撑半导体制造工艺延伸至3奈米节点,为中国光刻技术自主化开辟了新路径。
当前全球光刻机巨头艾司摩尔、尼康、佳能使用的DUV系统,均依赖氟化氙 (ArF) 准分子雷数技术,该技术透过氩氟混合气体,释放出193nm波长的光子,输出功率100到120W,频率8k到9kHz,系统复杂程度高且能耗较大。
报道称,该技术与艾司摩尔等大厂的技术路线不同,除可绕开技术与专利封锁,也大幅降低微影系统的复杂度、体积,同时减少对稀有气体的依赖并降低能耗。不过目前的输出功率和频率都还和商用标准低很多,频率虽有3分之2,但功率仅标准的0.7%,因此还需继续迭代,提升技术才能进入商用。
中国科学院传出成功研发突破性的DUV技术,并与ASML等光刻机大厂采用不同技术路线。图为ASML光刻机模型。(资料照,颜麟宇摄)
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