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受美国技术封锁影响,中国无法取得艾司摩尔(ASML)最先进的极紫外光(EUV)设备。 然而,成立仅4年的深圳芯片设备商新凯来,近日首度公开展示28纳米级300 毫米晶圆光刻技术,展现大陆在先进半导体设备领域的自主研发成果,引发全球产业高度关注。
综合外媒报道,新凯来于上海SEMICON China 2025 半导体展会上,展出包含原子层沉积(ALD)、化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、蚀刻、退火等关键制程的设备。 尽管未展示光刻设备,但据了解,新凯来已成功研发适用于300毫米晶圆的28纳米浸润式光刻系统,技术与国际主流设备供应商不相上下。
半导体产业分析师王磊表示,28纳米是成熟制程与先进制程的分水岭,也是大陆半导体设备厂商必须突破的难关。 新凯来的技术突破,代表中国的国产设备在关键制程领域取得了重大进展。
新凯来成立于2021年8 月,由深圳市政府资助,致力于开发半导体制造相关设备,在北京、上海、西安等地设立研发中心,并从业界挖角顶尖技术人才,网罗曾在ASML、应用材料、科林研发(Lam Research)、东京威力科创(Tokyo Electron)等国际大厂的优秀工程师。
尽管成立仅4年,新凯来已展现出强烈的市场企图心,其客户名单囊括了中芯国际、华虹集团等中国半导体产业的龙头晶圆厂。 不只如此,新凯来部分蚀刻设备已在功率半导体产线实现批量应用。
展望未来,新凯来计划在未来3年内将研发中心拓展至10个以上的城市,更将在欧洲和东南亚设立技术服务中心,提供客户专业支持,扩大其全球影响力。
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