艾司摩尔展示新一代EUV微影设备

芯片制造设备商艾司摩尔（ASML）十日展示新一代极紫外光（EUV）微影设备，约一辆双层巴士大、重约两架空客A320客机、要价达三点五亿欧元（约台币一一六亿元）的高数值孔径EUV。 该设备对ASML在1250亿美元（约4万亿元）的EUV市场保持领导地位至关重要。

ASML预计今年能出货数台高数值孔径EUV。 英特尔已下订单，首台去年十二月已送达该公司奥勒冈州厂，预定明年启用制造芯片。

这台EUV可在八纳米厚半导体打印电路，比前一代小一点七倍，而电路愈细，芯片可安装的晶体管就愈多，处理速度和内存表现就愈佳。 ASML高管表明，该设备对人工智能（AI）发展至关重要。

ASML执行长韦尼克一月受访时说，AI需大量运算能力及数据储存。 “若没有ASML和我们的技术，将无法实现。 这会是我们业务的一大驱动力“。 该公司发言人莫尔斯（Monique Mols）9日在其总部说，安装这套重达15万公斤的系统，要用250个货箱和250名工程师，耗时半年。

ASML自2018年起销售的低数值孔径EUV微影设备，标价1.7亿欧元（约56亿元）。