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南华早报报道,尽管中国在半导体自主目标上近期取得进展,但美国政府升高出口管制,锁定较不先进的曝光机,暴露中国芯片生产设备的缺陷。
报道说,拜登政府以国安疑虑为由,收紧去年10月发布的出口法规,以期透过切断中国从艾司摩尔(ASML)取得较不先进的芯片生产设备,以及从辉达取得数据中心芯片,来阻绝中国的人工智慧发展。
在美国商务部工业安全局长达121页详述新版芯片设备出口管制的文件中,废除了适用于特定曝光机的“微量原则”(De minimis Rule),该原则设定的实际门槛高于荷兰政府6月公佈的出口规范,此举将限制荷商艾司摩尔向中国出口包括Twinscan NXT1980Di在内的深紫外光机(DUV)。
微量原则赋予华府对于任何非美公司生产的产品,若包含至少25%美国原产技术,有长臂管辖权力。然而,对该法规最新的调整,基本上使美国原产技术的比例无关紧要。
中国国银律师事务所Dennis Lu说,“这意味光刻机(曝光机)系统,包括艾司摩尔与其他公司生产的设备,一旦达到美国特定参数,无论美国原产技术比例多少,都将受到美国出口管制规范”。
美国收紧芯片设备出口管制,禁止艾司摩尔对中国出口Twinscan NXT1980Di深紫外光机。(路透)
艾司摩尔2015年推出的1980Di已成为许多中国晶圆厂的主力设备,其每小时可处理275片晶圆,从40奈米成熟製程到先进的次10奈米(sub-10-nm)芯片都能够处理,根据消息人士提供的文件,美国最新版出口管制文件已删除对次10奈米技术的提及。
中国维科网也指出,1980Di将是荷兰出口禁令的最后漏洞,因为1980Di是目前中国能买到最先进的曝光机,其他比1980Di先进的都无法购买,在实际应用中,1980Di可用于生产7奈米芯片,据悉台积电的第一代7奈米製程就是基于1980Di实现的,之后才升级使用极紫外光机(EUV)。
该报道说,1980Di是美国芯片管制唯一的漏洞,因为这台曝光机最高可支持7奈米製程,因此多数情况下也能生产28奈米、14奈米芯片,中国先进芯片的生产没有完全被卡死。
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